Технология полупроводниковых диэлектрических материалов. 3-е изд
Учебник.Для студ. университетов и технич. ВУЗов. Изл. особенности протекания основных процессов (тепло- и массопередачи, химических, переработки сырьевых материалов, кристаллизации и стеклования, моделирования) при получении материалов электронной техники. Опис. технологические процессы получения важнейших полупроводниковых и диэлектрических материалов (в виде монокристаллов, стекла, керамики),...
Издательство:
Лань
Дата выхода: январь 2002