Л. Фелдман

Монография, написанная известными американскими специалистами в обла-сти атомных столкновений в твердых телах, посвящена физическим основам иметодам использования пучков ионов, электронов н рентгеновского излучениядля анализа структуры н состава тонких пленок вещества. Эти методы играютважную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в областимикроэлектроники. Все вопросы изложены...