Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых микросхем
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов...
Издательство:
Лаборатория Базовых Знаний
Дата выхода: январь 2012