В. М. Мухортов

В данном учебном пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для получения пленок сложных оксидов. Предназначена для научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов физических вузов.

Издательство: Содействие
Дата выхода: январь 2010