Труды ФТИАН. Т.27: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника....
---
Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких...
ISBN: 978-5-02-040089-4
Издательство:
Наука
Дата выхода: август 2018
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись