Физико-технологические основы макро-,микро, и наноэлектроники
Книга посвящена основным физическим явлениям и закономерностям, лежащим в основе технологических методов и процессов современной электроники. Особое внимание уделено наноматериалам и перспективным направлениям нанотехнологии. Изложение построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления, как правило, без обращения к другой...
ISBN: 978-5-9221-1321-2
Издательство:
Физматлит
Дата выхода: октябрь 2011
Оставить комментарий