Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных...
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено...
ISBN: 978-5-9916-7153-8
Издательство:
Юрайт
Дата выхода: апрель 2016
Оставить комментарий