везде Расширенный поиск
книги Наука, техника, медицина Техника Транспорт Воздушный транспорт

Development and Assessment of Wafer Transport Sequencing Rules for Clustertools. Development of Sequencing Rules for Clustertools by Means of Dynamic Tool Simulation

Код 903956

Бумажная книга

Нет в продаже

Сообщить о появлении

Аннотация к книге "Development and Assessment of Wafer Transport Sequencing Rules for Clustertools. Development of Sequencing Rules for Clustertools by Means of Dynamic Tool Simulation"

Cluster tools have become an important tool type in the semiconductor industry during the last decade. They integrate several process chambers into a tool and enable sequential process steps within one tool and/or increase capacity and availability by using several chambers in parallel for the same step. In these cluster tools, several chambers are usually served by one robot. Different process times and the parallelism of the chambers lead to practically random and competing transport tasks...

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Книга по требованию
Дата выхода: июль 2011
ISBN: 978-3-6390-3254-3
Объём: 104 страниц
Масса: 178 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см: 23 x 16 x 1

Вместе с этой книгой покупают

Сверхчувствительные люди. От трудностей к преимуществам
Сверхчувствительные люди. От трудностей к... бумажная книга
Тед Зефф
Нет в продаже
О чем молчат мертвые
О чем молчат мертвые бумажная книга
Лора Липпман
Нет в продаже
Финансовые сверхвозможности. Как пробить свой финансовый потолок
Финансовые сверхвозможности. Как пробить свой... бумажная книга
Максим Темченко
Нет в продаже
Искусственный интеллект в комиксах
Искусственный интеллект в комиксах бумажная книга
Генри Брайтон
Нет в продаже
Марс и Венера в спальне
Марс и Венера в спальне бумажная книга
Джон Грей
8.46 USD
В корзину
Памяти памяти
Памяти памяти бумажная книга
Мария Михайловна...
Нет в продаже