везде Расширенный поиск
книги Наука, техника, медицина Техника Легкая промышленность

G. Bahar Basim

Engineered Particulate Systems for Chemical Mechanical Planarization. A Systematic Approach to Slurry Formulation for Oxide CMP

Код 1457193

Бумажная книга

Нет в продаже

Сообщить о появлении

Аннотация к книге "Engineered Particulate Systems for Chemical Mechanical Planarization. A Systematic Approach to Slurry Formulation for Oxide CMP"

Chemical mechanical polishing (CMP) is used in microelectronics industry to planarize and pattern metal and dielectric layers. Decrease in the sizes of the devices and introduction of new materials necessitate improved control of the CMP that can be achieved by studying the slurry chemical and particulate properties. In this study, the impacts of slurry particle size distribution and stability on pad-particle-surface interactions are investigated. Impacts of hard and soft (transient)...

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Книга по требованию
Дата выхода: июль 2011
ISBN: 978-3-8433-6346-4
Объём: 124 страниц
Масса: 209 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см: 23 x 16 x 1

Книга находится в категориях

Химическая промышленность

Вместе с этой книгой покупают

Методы клинических лабораторных исследований
Методы клинических лабораторных исследований бумажная книга
В. С. Камышников
Нет в продаже
Веном. Полное собрание
Веном. Полное собрание бумажная книга
Дэниел Уэй
Нет в продаже
-50%
Девочка из башни 330
Девочка из башни 330 бумажная книга
Тимоте Фомбель де
14.12 USD 7.06 USD
В корзину
Большая энциклопедия кройки и шитья. Безлекальный метод кроя Галины Коломейко
Большая энциклопедия кройки и шитья.... бумажная книга
Галина Коломейко
Нет в продаже
Звездный замок. 1869: покорение космоса. Том первый
Звездный замок. 1869: покорение космоса. Том... бумажная книга
Алекс Алис
Нет в продаже
Зубы дракона
Зубы дракона бумажная книга
Майкл Крайтон
Нет в продаже

Просмотренные товары

Я учусь! Развивающая раскраска 20 Матрешка
Я учусь! Развивающая раскраска 20 Матрешка бумажная книга
0.86 USD
В корзину
Усомнившийся Макар
Усомнившийся Макар бумажная книга
Андрей Платонович...
Нет в продаже
Кудеяр. Аленький цветочек
Кудеяр. Аленький цветочек бумажная книга
Мария Семенова
Нет в продаже
Возрожденная Духом
Возрожденная Духом бумажная книга
Нет в продаже

Просмотренные категории

Химическая промышленность