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Entwicklung einer vakuumtauglichen Fuehrung. fuer planare Positionieraufgaben mit grossem Verfahrbereich

Код 916895

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Аннотация к книге "Entwicklung einer vakuumtauglichen Fuehrung. fuer planare Positionieraufgaben mit grossem Verfahrbereich"

Die Arbeit hat die theoretischen Untersuchungen zu einer vakuumtauglichen Walzfuhrung fur den Einsatz in einem planaren Positioniersystem zum Inhalt. Vakuumbedingungen werden fur die Fertigungsprozesse der Halbleiterindustrie und fur die Reduzierung der Storeinflusse auf die Messergebnisse benotigt. Das planare Positioniersystem basiert auf einem elektromagnetischen Direktantrieb. Daher werden die Werkstoffe fur den Einsatz in einer Vakuumumgebung, unter starken elektromagnetischen Feldern und...

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Издательство: Книга по требованию
Дата выхода: июль 2011
ISBN: 978-3-6392-5064-0
Объём: 116 страниц
Масса: 196 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см: 23 x 16 x 1

Книга находится в категориях

Химическая промышленность

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