книги Наука, техника, медицина Естественные науки Точные науки Физика

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

Код 3574048

  • ISBN: 978-5-458-31853-2

Нет в продаже

Аннотация к книге "Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников"

Изложены основы различных химических и физико-химических методов обработки поверхности полупроводников. Описаны методы химико-механического, химико-динамического и плазмохимического травления и полирования монокристаллических подложек из кремния, германия и соединений А3В5, а также химические и электрохимические методики локального травления полупроводников, препарирования кристаллов и эпитаксиальных структур. Систематизированы методы межоперационной и финишной очистки полупроводников от различных загрязнений. Воспроизведено в оригинальной авторской орфографии издания 1982 года (издательство "Радио и связь").

Оставить комментарий

Оцените книгу:

ISBN: 978-5-458-31853-2

Вместе с этой книгой покупают

Просмотренные товары

Просмотренные категории

Советский детектив Книжки-игрушки