книги

-16%

Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А.

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Код 4902973

ISBN: 978-5-94836-519-0
464 страницы

июль 2018
Техносфера
867 г

Бумажная книга

13.1 USD

15.59 USD

Добавить в корзину

Наличие на складе

Склад в Москве

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 22.06.2024; планируемая отправка: 23.06.2024

Склад в С.-Петербурге

Ожидаемое поступление (если вы сделаете заказ прямо сейчас): 25.06.2024; планируемая отправка: 26.06.2024

Аннотация к книге "Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения"

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие...

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10"-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (Aei < 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (Ю^-ИО-1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30-^80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ICP для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD. .За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. .Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Текст комментария

Оцените книгу:

Издательство:	Техносфера
Дата выхода:	июль 2018
ISBN:	978-5-94836-519-0
Объём:	464 страниц
Масса:	867 г

Вместе с этой книгой покупают

Сказки народов мира

Сказки народов мира бумажная книга

Борис Акунин

Нет в продаже

Маркетинг в социальных сетях

Маркетинг в социальных сетях бумажная книга

Дамир Халилов

Нет в продаже

-10%

Тейпирование: как правильно использовать в домашних условиях. Пошаговая иллюстрированная энциклопедия

Тейпирование: как правильно использовать в... бумажная книга

Джон Лангендоен

30.86 USD 27.78 USD

В корзину

Нескучная детская психология. Как общаться с ребенком, чтобы он вас и слушался, и слышал

Нескучная детская психология. Как общаться с... бумажная книга

Сатья Дас

Нет в продаже

-10%

Битва за ресурсы

Битва за ресурсы бумажная книга

Игорь Прокопенко

1.4 USD 1.26 USD

В корзину

Арабский язык. Обучение переводу: начальный этап. Модуль №1

Арабский язык. Обучение переводу: начальный... бумажная книга

Наталья Дмитриевна...

Нет в продаже

10%

Тейпирование: как правильно использовать в домашних условиях. Пошаговая иллюстрированная энциклопедия

Тейпирование: как правильно использовать в домашних условиях....

бумажная книга

Джон Лангендоен Карин Зертель

Вы уже ходите с "разноцветными лентами" на руках или ногах? Или вы видели их у подруги или коллеги? Вам рекомендовали попробовать тейпинг? Или вы уже давно знаете о нем из телепередач, или даже используете его во время занятий спортом? Вне зависимости от того, знакомы вы с тейпингом или нет, эта книга откроет вам возможности его самостоятельного применения. Существует широкий спектр показаний для...

Издательство: Эксмо
Дата выхода: февраль 2018

30.86 USD 27.78 USD

В корзину

10%

Битва за ресурсы

Битва за ресурсы

бумажная книга

Игорь Прокопенко

Книга известного тележурналиста Игоря Прокопенко посвящена ресурсам, за которые испокон веков бьются различные страны и цивилизации. На суд читателя вынесены факты, свидетельствующие как о ресурсном богатстве России, так и о попытках их отвоевать. В книге содержится масса шокирующих данных об опасности ГМО-продукции, о различных попытках найти альтернативу современной еде в условиях...

Издательство: Эксмо
Дата выхода: июль 2017

1.4 USD 1.26 USD

В корзину