книги Электронные книги Справочники, энциклопедии, словари

Заглянуть

Лев Сейдман Евгений Берлин Василий Григорьев

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Код 5073001

457 кб

октябрь 2019

Электронная книга

Нет в продаже

Доступные форматы pdf

Аннотация к книге "Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения"

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01-0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (10 За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого – систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников. Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Текст комментария

Оцените книгу:

Правообладатель:	Техносфера
Дата выхода:	октябрь 2019
Размер файла:	457 Кб
Поставщик контента:	ООО «ЛитРес»

Книга находится в категориях

Наука, техника, медицина

Вместе с этой книгой покупают

Годовой курс: для детей 1-2 лет (с наклейками) бумажная книга

В. Ермолаева

Нет в продаже

Доктор сон. Научите вашего ребенка спать. 5 шагов к здоровому сну для детей 3-10 лет

Доктор сон. Научите вашего ребенка спать. 5... бумажная книга

Линелль Шнееберг

7.23 USD

В корзину

Немецкий язык для гуманитарных вузов + аудиоматериалы в эбс. Учебник и практикум для академического бакалавриата

Немецкий язык для гуманитарных вузов +... бумажная книга

Алмазия Гаррафовна...

Нет в продаже

Модели Интернета бумажная книга

А.М. Райгородский

18.48 USD

В корзину

Справочник симптомов в общей врачебной практике бумажная книга

К. Хопкрофт

Нет в продаже

-5%

Вакцинология: терминологический англо-русский и русско-английский словарь

Вакцинология: терминологический англо-русский и... бумажная книга

О. В. Шамшева

16.85 USD 16 USD

В корзину

Доктор сон. Научите вашего ребенка спать. 5 шагов к здоровому сну...

бумажная книга

Линелль Шнееберг

Мечтаете наконец выспаться? А ваш ребенок делает все, чтобы ночи были полны огня? Поздравляем, в вашей семье все как у всех! Хронический недосып - проблема большинства дошкольников и младшеклассников. Их трудно разбудить с утра и еще труднее уложить вечером. Дети попросту не умеют засыпать в своей кровати, потому что их этому никто не научил. Самое время заняться этим, используя план пошагового руководства...

Издательство: ИД "Комсомольская правда"
Дата выхода: февраль 2020

7.23 USD

В корзину

Модели Интернета

бумажная книга

А.М. Райгородский

Учебное пособие посвящено моделированию Интернета, который был диковинкой для большинства из нас еще каких-то 15 лет назад. Сейчас мы ежедневно пользуемся ресурсами Интернета - поиском, электронной почтой, блогами и др. Сеть динамично развивается, растет и усложняется, а потому рядовому пользователю может казаться, что в Интернете царит полный хаос. Однако в реальности все устроено намного интереснее. ...

Издательство: Интеллект
Дата выхода: февраль 2019

18.48 USD

В корзину

Вакцинология: терминологический англо-русский и русско-английский...

бумажная книга

О. В. Шамшева С. К. Литвинов Г. Г. Пигнастый

В англо-русский и русско-английский словарь включено свыше 3000 наиболее часто употребляемых в международной практике терминов, словосочетаний и сокращений, принятых в вакцинологии. Словарь адресован в первую очередь специалистам в области вакцинопрофилактики, включая научных работников, производителей иммунобиологических препаратов, врачей, медицинских сестер и других медицинских специалистов,...

Издательство: ГЭОТАР-Медиа
Дата выхода: февраль 2019

16.85 USD 16 USD

В корзину

Просмотренные товары

Повреждения и рубцовые стриктуры желчных протоков электронная книга

Коллектив авторов

Нет в продаже

Secret History of the Court of James the First, Volume 2

Secret History of the Court of James the First,... бумажная книга

Scott Walter

Нет в продаже