книги Электронные книги Справочники, энциклопедии, словари

Заглянуть

Лев Сейдман Евгений Берлин

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Код 4980247

947 кб

декабрь 2018

Электронная книга

Нет в продаже

Доступные форматы pdf

Аннотация к книге "Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии"

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Текст комментария

Оцените книгу:

Правообладатель:	Техносфера
Дата выхода:	декабрь 2018
Размер файла:	947 Кб
Поставщик контента:	ООО «ЛитРес»

Книга находится в категориях

Наука, техника, медицина

Вместе с этой книгой покупают

Интервью с Владимиром Путиным бумажная книга

Оливер Стоун

Нет в продаже

Дальше жить бумажная книга

Наринэ Юрьевна Абгарян

11.07 USD

В корзину

Исаак Левитан. Времена года бумажная книга

А. Ю. Астахов

Нет в продаже

Люди и звери: мифы и реальность бумажная книга

Ольга Арнольд

Нет в продаже

-12%

Жизнь и еда бумажная книга

Раиса Алибекова

7.04 USD 6.19 USD

В корзину

-10%

Быть Хокингом бумажная книга

Джейн Хокинг

2.21 USD 1.99 USD

В корзину

Дальше жить

бумажная книга

Наринэ Юрьевна Абгарян

Новая книга Наринэ Абгарян, автора знаменитых автобиографических повестей "Манюня" и "Люди, которые всегда со мной". Герои её книг простые и поэтому настоящие люди, которые знают, где живет счастье. 31 рассказ о войне. Книга о тех, кто пережил войну. И тех, кто нет. "Писать о войне — словно разрушать в себе надежду. Словно смотреть смерти в лицо, стараясь не отводить взгляда. Ведь если отведешь — предашь...

Издательство: АСТ
Дата выхода: декабрь 2018

11.07 USD

В корзину

12%

Жизнь и еда

бумажная книга

Раиса Алибекова

В семь лет Раиса из дагестанского села чуть заживо не сгорела. Ее чудом спасли, но на долгие годы она потеряла лицо. Его "лепили" заново в течение двадцати лет, по миллиметру в год — девушке пришлось перенести более двадцати пластических операций, проведенных под общим наркозом. Раиса пережила адские муки, но никогда не отчаивалась, потому что рядом с ней всегда были ее родные, а потом — любимые муж и сын. ...

Издательство: АСТ
Дата выхода: декабрь 2018

7.04 USD 6.19 USD

В корзину

10%

Быть Хокингом

бумажная книга

Джейн Хокинг

Стивен Хокинг известен читателям как выдающийся физик современности, сделавший множество открытий в теории "черных дыр". А что мы знаем о Хокинге как об обычном человеке, любящем отце и муже, жизнелюбе и мечтателе, на долю которого выпали такие испытания судьбы, которые нельзя пожелать даже врагу? Джейн Хокинг была рядом с ним 26 лет, любила и разделяла с мужем все трудности. Про ее непростой опыт...

Издательство: Эксмо-Пресс
Дата выхода: апрель 2018

2.21 USD 1.99 USD

В корзину