Базовые технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Воротынцев В.М., Скупов В.Д.
Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе "высокая чистота материала - высокое...
ISBN: 978-5-392-30308-3
Издательство:
Проспект
Дата выхода: июнь 2019
Найденных опечаток пока нет
Добавить запись