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Mikrostrukturierte Elektroden. Prozesstechnik und Herstellung

Код 917007

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Аннотация к книге "Mikrostrukturierte Elektroden. Prozesstechnik und Herstellung"

Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess fur die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefatzung eines Tragermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgefuhrt, welche...

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Издательство: Книга по требованию
Дата выхода: июль 2011
ISBN: 978-3-6392-5240-8
Объём: 96 страниц
Масса: 166 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см: 23 x 16 x 1

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Химическая промышленность

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