везде Расширенный поиск
книги Наука, техника, медицина Техника Транспорт Воздушный транспорт

Sebastian Engelmann

PLASMA-SURFACE INTERACTIONS OF ADVANCED PHOTORESIST SYSTEMS. PLASMA-SURFACE INTERACTIONS OF MODEL POLYMERS FOR ADVANCED PHOTORESIST SYSTEMS

Код 895567

Бумажная книга

Нет в продаже

Сообщить о появлении

Аннотация к книге "PLASMA-SURFACE INTERACTIONS OF ADVANCED PHOTORESIST SYSTEMS. PLASMA-SURFACE INTERACTIONS OF MODEL POLYMERS FOR ADVANCED PHOTORESIST SYSTEMS"

Plasma based transfer of photoresist (PR) patterns using 193nm PR films usually suffer from high removal rates and excessive surface and line edge roughness. The effects of process time, PR material, bias and source power, pressure and gas chemistry were studied. Polymer destruction in the top surface, oxygen and hydrogen loss along with fluorination were observed for all materials initially, which was followed by steady state etch conditions. A strong dependence of plasma-induced surface...

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Книга по требованию
Дата выхода: июль 2011
ISBN: 978-3-6391-7824-1
Объём: 172 страниц
Масса: 282 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см: 23 x 16 x 1

Вместе с этой книгой покупают

Огонь и агония
Огонь и агония бумажная книга
Михаил Веллер
9.91 USD
В корзину
НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ. КЕНГУРУ
НИКОЛАЙ НИКОЛАЕВИЧ. КЕНГУРУ бумажная книга
Юз Алешковский
106.21 USD
В корзину
Интернет вещей. Набор для экспериментов с контроллером NodeMCU ESP8266
Интернет вещей. Набор для экспериментов с... бумажная книга
148.88 USD
В корзину
Ты можешь создать компьютерную игру
Ты можешь создать компьютерную игру бумажная книга
Шон Макманус
1
Нет в продаже
-3%
Практики регулярного менеджмента. Управление исполнением,управление командой
Практики регулярного менеджмента. Управление... бумажная книга
Павел Безручко
12.65 USD 12.27 USD
В корзину
Правовая патопсихология
Правовая патопсихология бумажная книга
Б.Н. Алмазов
Нет в продаже

Просмотренные товары