Process Modeling of Chemical Mechanical Planarization. An Integrated Model from Abrasive Scale to Chip Scale; Basics, Characterizations, Modeling and Verification
Код 901703
- ISBN: 978-3-6390-0166-2
- 144 страницы
- июль 2011
- Книга по требованию
- 239 г
Код 901703
Оставить комментарий