Sensor-based Modeling and Monitoring of Chemical Mechanical Polishing. Analysis of Experimental Sensor Data Integrating Statistical Time Series Analysis and Nonlinear Dynamics (Chaos Theory) Paradigms
Код 904165
- ISBN: 978-3-6390-3564-3
- 208 страниц
- июль 2011
- Книга по требованию
- 338 г
Оставить комментарий