везде Расширенный поиск
книги Наука, техника, медицина Техника Транспорт Воздушный транспорт

Upendra Phatak

Sensor Based Modeling of Copper Chemical Mechanical Planarization. Modeling the slurry chemistry effects on Material Removal Rate (MRR)

Код 910007

Бумажная книга

Нет в продаже

Сообщить о появлении

Аннотация к книге "Sensor Based Modeling of Copper Chemical Mechanical Planarization. Modeling the slurry chemistry effects on Material Removal Rate (MRR)"

The variations in slurry chemistry parameters including pH, concentrations of complexing and corrosion inhibiting agents, and slurry flow rates as well as average MRR in Cu-CMP process are modeled using features from two vibration sensors (one wired and the other wireless accelerometer). The study is perhaps one of the first efforts to use wireless vibration sensors for real-time monitoring of MRR and the chief slurry chemistry parameters in CMP. We hope that this work will lead to the advent...

Оставить замечание о найденной опечатке Версия для печати

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Книга по требованию
Дата выхода: июль 2011
ISBN: 978-3-6391-3371-4
Объём: 132 страниц
Масса: 221 г
Размеры(высота, ширина, толщина), см: 23 x 16 x 1

Вместе с этой книгой покупают

Дачный участок с нуля. С чего начать?
Дачный участок с нуля. С чего начать? бумажная книга
Павел Франкович Траннуа
Нет в продаже
1% лидеров обладает качествами, которых нет у 99% людей
1% лидеров обладает качествами, которых нет у... бумажная книга
Эйтаро Коно
Нет в продаже
Мужские мысли в походе и офисе. Как исповедь
Мужские мысли в походе и офисе. Как исповедь бумажная книга
Игорь Фомин
7.08 USD
В корзину
Студия дизайна Робин Вильямс
Студия дизайна Робин Вильямс бумажная книга
Робин Вильямс
7 На складе
Нет в продаже
Собибор. Послесловие
Собибор. Послесловие бумажная книга
Лев Семенович Симкин
Нет в продаже
Либидо с кукушкой. Психоанализ для избранных
Либидо с кукушкой. Психоанализ для избранных бумажная книга
Василий Васильевич...
3.15 USD
В корзину