книги Наука, техника, медицина Естественные науки Точные науки Физика Учебники ВУЗ

Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники

Код 810519

  • ISBN: 978-5-9963-0335-9
  • 392 страницы
  • сентябрь 2010
  • Бином

Нет в продаже

Аннотация к книге "Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники"

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес.
В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений,...

Оставить комментарий

Оцените книгу:

Издательство: Бином
Дата выхода: сентябрь 2010
ISBN: 978-5-9963-0335-9
Тираж: 772 экземпляров
Объём: 392 страниц
Обложка: твёрдая

Вместе с этой книгой покупают

Просмотренные товары