Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
Афонский А.А., Дьяконов В.П.
Первая в России книга по самым современным электронным электро- и радиоизмерениям и измерительным приборам, применяемым в научных исследованиях, тестировании и испытании устройств и систем микроэлектроники и нанотехнологий. Впервые подробно описаны средства измерений, применяемые в условиях крупносерийного микроэлектронного производства, и приборы ведущих в их разработке и производстве фирм: Keithley,...
ISBN: 978-5-94074-626-3
Издательство:
ДМК
Дата выхода: январь 2011