Атомы легирующих примесей в полупроводниках (состояние и поведение)
Монография обобщает теоретические и экспериментальные данные о растворимости, миграции и взаимодействиях практически всех легирующих примесей в монокристаллах и полупроводниках. Проанализированы состояние и поведение водородоподобных примесей, d- и /-примесей, газообразующих, амфотерных и изовалентных примесей. Рассмотрены энергетические уровни, их заполнение электронами, термодинамика и кинетика...
Издательство:
Физматлит
Дата выхода: апрель 2007